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向壓電偏轉(zhuǎn)鏡 3/6/9/12.5mrad壓電偏轉(zhuǎn)鏡是以壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)元件，內(nèi)部采用無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，外部機(jī)械結(jié)構(gòu)通過(guò)內(nèi)部多支壓電陶瓷的伸縮來(lái)實(shí)現(xiàn)單軸或多軸角度偏轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，補(bǔ)償量小，偏轉(zhuǎn)鏡具有較好的運(yùn)動(dòng)精度和高的穩(wěn)定性，通過(guò)內(nèi)置高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)控制，實(shí)現(xiàn)亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。
P33壓電偏轉(zhuǎn)鏡是具有快速響應(yīng)且體積緊湊等特點(diǎn)的偏轉(zhuǎn)平臺(tái)，提供頂端面的高精度角度運(yùn)動(dòng)，與其他執(zhí)行器相比，柔性鉸鏈導(dǎo)向的壓電偏轉(zhuǎn)平臺(tái)可提供高的加速度，使階躍響應(yīng)時(shí)間在亞毫秒范圍。閉環(huán)與開環(huán)版本具有6個(gè)不同的偏轉(zhuǎn)范圍，可達(dá)25mrad的光束偏轉(zhuǎn)。
向壓電偏轉(zhuǎn)鏡 3/6/9/12.5mrad
特性
• θx,θy二維偏轉(zhuǎn)，偏轉(zhuǎn)角度12.5mrad • 閉環(huán)定位精度高 • 分辨率高 • 溫度穩(wěn)定性高 • 亞毫秒響應(yīng)時(shí)間
| 高動(dòng)態(tài)、閉環(huán)版本精度高 | 結(jié)構(gòu)原理 | ||
| P33系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡采用了無(wú)摩擦、柔性鉸鏈導(dǎo)向結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，絕緣壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)偏轉(zhuǎn)范圍12.5mrad，提供高的加速度，快速響應(yīng)達(dá)毫秒量級(jí)或快。 在機(jī)械結(jié)構(gòu)的合適位置采用測(cè)量的應(yīng)變傳感器來(lái)得到高穩(wěn)定性及定位精度，他們提供了較高的帶寬并向控制器發(fā)送定位反饋信號(hào)，傳感器以橋式配置連接以消除熱漂移從 而優(yōu)質(zhì)的穩(wěn)定性。 可帶載鏡片直徑40mm，產(chǎn)品已成功應(yīng)用于衛(wèi)星激光通信等領(lǐng)域。 P33系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡的固定方式分底部固定及腰部固定，詳見(jiàn)尺寸圖。 | 偏轉(zhuǎn)鏡（兩軸）是基于4個(gè)壓電陶瓷結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)而成，每軸采用兩個(gè)壓電陶瓷，以推拉模式形成偏擺運(yùn)動(dòng)，采用橋式連接電路控制。四個(gè)執(zhí)行機(jī)構(gòu)（壓電促動(dòng)器）以90°角平分放置，是成對(duì)的差異控制分布形式。 通過(guò)差分結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)可以在大范圍的溫度變化下保持良好的角度穩(wěn)定性，這樣就可以保證溫度的變化僅能影響到平臺(tái)的垂直方向定位，而對(duì)角度定位則沒(méi)有影響，在閉環(huán)下，可以保證系統(tǒng)的線性度和分辨率。 |
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驅(qū)動(dòng)控制
P33壓電偏轉(zhuǎn)臺(tái)θxθy兩軸采用90。相差輸入，通過(guò)控制電壓的大小，對(duì)不同的光路距離，可進(jìn)行一定范圍的圓形范圍掃描，如下右圖所示。
應(yīng)用實(shí)例
激光通信技術(shù)由于其通信容量大、傳輸距離遠(yuǎn)、保密性好、抗干 擾能力強(qiáng)等特點(diǎn)受到世界各國(guó)的重視，因?yàn)榻⒖仗斓睾Ｒ惑w化通信網(wǎng)絡(luò)勢(shì)在必行，我國(guó)在激光通信技術(shù)領(lǐng)域已達(dá)到高水平，比如衛(wèi)星激光通信、機(jī)載、艦載通信等，芯明天P33壓電偏轉(zhuǎn)鏡系統(tǒng)已經(jīng)成功應(yīng)用于衛(wèi)星激光通信及機(jī)、艦激光通信實(shí)驗(yàn)中。
